1700C CVD 3-zonen vacuümbuisoven met MFC-gasmenger en moleculaire pompen

Productoverzicht

PT D80/1500/17/3 is een hoge temperatuur, drie-zone CVD high-vacuum tube oven. OD80mm alumina buis, verwarming lengte 1500mm.3 kanalen MFC nauwkeurig gecontroleerd gasmengsel. 304SS waterkoelflensjes met naaldklep en meter, meerdere luchtinlaat- en -uitlaatpunten voor verschillende gassen.Het neemt een microprocessor-gebaseerd zelf afstemmend Yudian PID-temperatuurregelsysteem met een temperatuurbeheersnauwkeurigheid van +/- °CDe 3-zonen hoge vacuümbuisoven wordt hoofdzakelijk gebruikt voor vacuüm- en atmosfeerbeschermingssintering.vacuüm dunne filmcoating, CVD-experimenten enzovoort.

Hoofdkenmerken

• Tmax 1700°C
• 3 warmtezone hoge vacuüm, CVD-buisoven
• Dubbele staalconstructie, minimaal warmteverlies
• Moleculaire pompen, maximaal vacuümniveau tot 10-5 torr
• 3-kanaals MFC-gestuurde gasmenger
• Met glasvezel geïsoleerde kamer met MoSi2-verwarmingselementen voor maximale temperatuurstabiliteit en uniformiteit
• 304SS waterkoelende gesloten flenzen
• Digitale PID-controller met 30 programmeerbare segmenten met een nauwkeurigheid van +/- 1°C
• Thermocouple van type B
• ISO, CE

Veiligheidsmaatregelen

• Ingebouwde ammeter en dubbele voltmeter voor gemakkelijke monitoring en probleemoplossing.
• De oververwarmingsbescherming schakelt de oven uit als de temperatuur buiten het aanvaardbare bereik ligt (zie handleiding van de regelaar) of wanneer het thermocouple kapot is of slecht werkt.
• De bescherming tegen stroomstoring hervat de werking van de oven onmiddellijk na het punt van de stroomstoring wanneer de stroom wordt hersteld.
• Microprocessor gebaseerde zelf afstemmende PID-besturing zorgt voor een optimaal thermisch proces met minimale overschrijding

Productgegevens

1700°C CVD 3-zone vacuümbuisoven met MFC-gasmenger en waterkoeling

• PT D80/1500/17 bestaat hoofdzakelijk uit zeven onderdelen: ovengehalte, oventuib, toebehoren voor het afdichten van de flens, gasvoorziening, waterkoeling,vacuümpompsysteem en temperatuurregelsysteem
• De buitenste stalen omhulsel van de oven wordt verwerkt met beikeren en fosfateren, een poederlaag op het oppervlak, corrosie- en oxidatiebestendigheid, ingebouwde koelventilator,oppervlaktetemperatuur Rt+45°C
• Uitstekend uiterlijk, ISO, CE-conformiteit

Kamerprofiel voor 1700°C CVD 3-zonen hoge vacuümbuisoven

• Hoge aluminium keramische isolatie, CNC-gravure, kamerwanden die goed gekoppeld zijn, U-type MoSi2-verwarmer, temperatuurbestendig tot 1800C
• Verwarmingslengte 600 mm, geschikt voor aluminiumbuis met een diameter van 60 mm.Het kritische deel van de verwarmingszone in de ovenbuis is uitgerust met de keramische buisstop, die effectief kan voorkomen dat warmte ontsnapt en warmteverlies kan verminderen
• Thermocouple van type B

Water koelflens, 1/4 " pagode gas spuitstuk, moleculaire vacuümpomp eenheid

• Uitgerust met SS304 waterkoelflensset, afgesloten met hoge temperatuurbestendige fluorrubber afdichtingsringen
• De luchtinlaat en -uitlaat neemt G1 / 4-inch pagoda luchtstuk, die kan worden aangesloten op een PTFE-pijp met een buitendiameter van 8 mm
• Verbonden moleculaire pompen met KF25, zorg ervoor dat het vacuümniveau bereiken tot 10 *-5mbar

Verwarmingsprogramma's voor 1700°C CVD HIGH TEMPOR 3 ZONES TUBE OVEN

• 30 programmeerbare segmenten, verwarmingssnelheid 1-10C/min, vrij ingesteld
• Goede thermische isolatie, natuurlijke koeling, zacht afkoelen
• 7 "touchscreen paneel is optioneel, verwarmingsprogramma's kunnen tijdig worden getoond, en gedownload

TTechnische specificaties

Notities betreffende de toepassing

• De druk van de verwerkingsbuis moet lager zijn dan 0,02 MPa
• De gasbron moet de drukverlagende klep uitrusten
• Voordat het vullen van reductiegassen zoals H2, moet de lucht uit de buis te pompen
• Bij het vullen van gassen uit de gasinlaat in de buis, moet u ervoor zorgen dat de gasuitlaat open

Groottevergelijking